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甲硅烷（SiH₄），又名四氢化硅。是一种无色易燃的有毒气体，具有强烈的大蒜气味。它在空气中容易被点燃，对氧和空气极为敏感，甚至在-180℃的温度下也可能与氧发生爆炸反应。甲硅烷在电子工业、能源工业、玻璃工业及高科技领域等多个行业有广泛应用，主要用作生产液晶TFT、太阳能电池、半导体等的关键材料。由于其自燃性和毒性，甲硅烷需要特别小心处理和储存，以避免火灾、爆炸和健康危害。
六氟化硫（SF₆），是一种无机化合物，常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体，分子量为146.055。它由一个硫原子和六个氟原子组成，具有八面体结构，因此具有极高的极性和强电场中的极化能力，赋予其优良的绝缘性能。六氟化硫在电力行业中被广泛应用，如高压开关、大容量变压器等，以提高设备运行的安全性和可靠性。同时，它也是一种温室气体，对全球气候变化具有潜在影响，因此在使用过程中需注意其环境效应。
八氟环丁烷（C₄F₈），是一种无色气体，具有高度的化学稳定性和不易燃性。其物理性质包括特定的熔点、沸点和密度，这些性质因测试条件和纯度可能略有差异。作为一种有机化合物，八氟环丁烷在化学工业中具有广泛的应用。由于其不易发生化学反应和对大多数化学物质的稳定性，它常被用作溶剂、润滑剂、冷却剂以及在某些高温工艺中的介质。此外，八氟环丁烷还因其独特的物理和化学性质，在半导体制造、电子设备和医疗设备等高科技领域发挥着重要作用。
三氯化硼（BCl₃），是一种无机化合物，化学性质活泼，具有无色发烟液体或气体的外观，并带有刺激性气味，易潮解。其熔点为-107℃，沸点为12.5℃，相对密度（水=1）为1.43。三氯化硼在多个领域有重要应用。它主要用作有机反应的催化剂，参与酯化、烷基化、聚合、异构化等多种反应过程。同时，它还是铸镁及合金时的有效防氧化剂，以及制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等化合物的主要原料。此外，三氯化硼还广泛应用于电子工业，特别是在半导体硅的掺杂和有机硼化合物的制取方面发挥着关键作用。三氯化硼对人体和环境有害，使用时需特别小心，采取适当的安全防护措施。
三氟化氮（NF₃），是一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，具有强烈刺激性。其化学性质稳定，但在高温下会缓慢分解，产生强氧化性氟。三氟化氮的熔点为-206.8℃（1atm），沸点为-129℃（1atm），气体密度为2.95kg/m³（1atm，21℃）。在电子工业中，三氟化氮是一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻具有高速率和高选择性，且对表面无污染。此外，它还可用于高能化学激光器中作为氟源，以及作为其他化学品的氟化剂等。三氟化氮虽然低毒，但能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，且在大气中会与水蒸气反应，生成硝酸和氢氟酸，对环境造成污染，因此在使用时需特别注意安全防护。
六氟乙烷（C₂F₆）是一种无色、无味的气体，又称全氟乙烷。在电子工业和制冷领域具有广泛应用。在微电子制造中，它作为等离子体蚀刻的关键气体，能够满足超大规模集成电路制造的高精度要求。同时，六氟乙烷也被用作环保型制冷剂，因其低毒、不易燃易爆以及在大气中的稳定性，被广泛应用于需要精确温度控制的场合。这些应用体现了六氟乙烷独特的化学性质和广泛的应用价值，使其成为现代工业中不可或缺的重要材料。
硫化氢（H₂S），一种无色有剧毒的酸性气体，属于无机化合物，高浓度时无明显气味，低浓度时具有强烈的臭鸡蛋味，浓度极低时便有硫磺味，是许多工业过程中的副产品，例如在天然气提炼、石油炼制、废水处理和造纸工业中产生。
氯化氢（HCl），分子量为36.461，是一种无色、有刺激性、腐蚀性及窒息性的气体，重要的无机化合物，具有广泛的应用。它在工业上主要用于生产各种氯化物，如氯化钠、氯化钾等，这些氯化物在食品、医药、化工等领域有着广泛的应用。此外，氯化氢还用于合成染料、药物、农药等化学品，并在有机合成中作为催化剂或反应物。在玻璃加工、陶瓷制造、金属清洗和腐蚀处理等方面，氯化氢也发挥着重要作用。
四氯化硅（SiCl₄），是一种无色透明液体，无机化合物，属于卤化物、硅化物，有窒息性气味。它遇水剧烈水解，生成硅酸和氯化氢，同时放出大量的热。在空气中发烟，遇水强烈水解，生成硅酸和盐酸。四氯化硅主要用于制取纯硅、高纯二氧化硅、气相法白炭黑、有机硅化合物、光纤预制棒、烟雾剂，也用作掺杂剂、催化剂及溶剂等。
三氟甲烷（CHF₃），也被称为氟仿，无色、几乎无味的气体，分子量为70.014。它是一种有机化合物，常温常压下为无色气体，微溶于水，但可溶于乙醇、丙酮等有机溶剂。它具有高稳定性和化学惰性，密度大于空气。三氟甲烷主要用作低温制冷剂、灭火剂，以及制造四氟乙烯的原料，同时也在电子工业中作为等离子体化学蚀刻剂。然而，它也是一种强温室气体，对大气环境有一定影响。因此，在使用三氟甲烷时，需要权衡其利弊，并采取相应的环保措施。
四氟化碳（CF₄），又名四氟甲烷、全氟甲烷，是一种在常温常压下为无色气体的化合物。它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物。四氟化碳具有化学稳定性好、氧溶解度好、不易燃、无腐蚀性等特性，能溶于氯仿和苯，不溶于水。它主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂等。
